洗浄装置水洗タンク内で発生するバクテリアを短時間で除去。
レジスト塗布前洗浄、成膜前洗浄、剥離装置、現像装置で数多く導入しています。

Ozone(O3)・紫外線(UV)光触媒を同時利用し、促進酸化処理(AOP)により菌や有機物分解します。
薬液殺菌と違い耐性菌を発生させません。

• PM時の薬液洗浄不要
• 薬液購入/回収/装置停止不要
• 水洗最終タンクに設置することで上流タンクにも効果を発揮します